MarSurf3D MS SX 平台
产品货号 6350029
灵活、快速、高精度 — 全新 MarSurf3D MS 系列
巧妙结合:使用全新 Marsurf3D SX 平台并搭配全新多传感器测量头,融合基于区域的各项测量技术。这意味着您可以使用一台设备即可进行低至纳米级范围的所有表面测量。SX 平台在处理轴径尺寸最大达 200 mm 的小型工件时,充分展现了其优势。
灵活的全方位测量解决方案 MS
通过组合各项技术,可以实现最大的灵活性:共焦、白光干涉测量法和焦点变化。这些技术的不同优势可以在一个测量系统中实现。
共焦
专门开发并获得专利的多针孔技术可确保以最高的信号质量进行超快速的图像捕获,从而实现亚纳米级范围内的最大可重复性。此技术适用于表面度量领域从光滑表面到极粗糙表面的广泛应用场景。
干涉测量法
无论放大倍数如何,干涉测量法均提供亚纳米级范围内的垂直分辨率。这允许在大型测量区域上记录纳米级范围内的表面高度。干涉测量法在非常光滑和连续的表面上表现尤为出色,也适用于对台阶高度进行超精密的测量。
焦点变化
利用主动照明进行的焦点变化是一项专门为测量大型 粗糙表面几何形状而开发的技术。特别是那些倾斜度极高的表面(最多 86 个°)以及宽广的垂直测量范围,都可以在一次测量中被记录下来。