成功案例

工业自动控制系统装置制造、工业机器人制造、制药专用设备制造、工业机器人安装及维修、机械设备研发、工业自动控制系统装置销售、工业机器人销售、制药专用设备销售、机械零件及零部件销售、货物进出口、进出口代理、半导体自动化设备领域内的技术服务、技术开发、技术咨…

主要从事半导体制造装备及关键零部件的研发和产业化，致力于半导体材料加工、芯片制造及检测等领域，提供工艺解决方案及局部配套装备。

经营范围：研发、生产、销售测量和检测设备、机器人与自动化装备、自动化立体仓库及仓储物流设备、激光技术及装备、光电传感器、计算机软硬件产品等，并提供相关技术服务、技术咨询、租赁等业务，同时自营和代理各类商品及技术的进出口业务

主要从事各类半导体工艺设备、工艺辅助设备、CMP 耗材等的研发、制造、销售及服务

核心产品：主要产品为 LPCVD（低压化学气相沉积）立式炉设备，在晶圆装载量、沉积薄膜均匀性、设备维护周期、运行稳定性方面表现突出，并可满足不同客户定制化需求。公司已开展多款立式炉设备的研发工作，产品覆盖逻辑、模拟、存储器、MEMS 等多种半导体芯片制造的需求。…

公司定位与愿景：是一家集研发、生产、销售和服务于一体的高科技企业，专注于提供高端半导体电镀设备与材料的整体解决方案。企业愿景是成为全球领先的半导体高端电镀设备与材料解决方案提供商；企业使命是专注技术研发，稳步推进国产化与行业自主创新

公司聚焦于集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了服务于芯片制造、掩模制造、晶圆衬底制造、基板制造四大领域九大类量测及检测产品。

公司深耕晶圆传输设备整机模块及关键零部件的研发和生产，自主研发的产品包括晶圆前端传输模块（EFEM）、晶圆分选机（SORTER）、晶圆存储系统（STOCKER）、自动物料搬运系统（AMHS）和传输领域关键零部件，拥有多项核心关键技术，填补了国内空白，为国内集成电路传输设备…

公司专注于半导体检测设备的研发与生产，致力于通过非线性光学晶圆检测技术实现晶圆的无损、快速内部缺陷检测，其核心产品包括ASPIRER 3000非线性光学晶圆缺陷检测系统等‌

主营业务‌：半导体设备（如外延沉积设备EPI、原子层沉积设备ALD等）、电子制造设备的研发与生产，产品覆盖半导体制造全产业链，目标实现100%国产化‌

主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等

公司专注于半导体、光伏、面板显示等领域的臭氧应用系统解决方案，主要产品包括半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧水杀菌系统等‌