上海微釜半导体设备有限公司

• 基本信息：

• 成立时间：2022 年 1 月 18 日。

• 法定代表人：姜蔚。

• 注册资本：997.4641 万人民币。

• 公司类型：有限责任公司（自然人投资或控股）。

• 登记机关：松江区市场监督管理局。

• 注册地址：上海市松江区洞泾镇莘砖公路 3825 号 32 幢。

• 经营状态：存续（在营、开业、在册）。

• 经营范围：包括半导体器件专用设备销售、制造，专用设备制造（不含许可类专业设备制造），机械零件、零部件销售，技术服务、开发、咨询、交流、转让、推广，机械设备租赁，软件开发，软件销售，货物进出口，技术进出口，电子专用材料销售，电子专用材料制造，机械电气设备销售，机械设备研发，专用设备修理，电子、机械设备维护（不含特种设备）。

• 公司团队与技术：创始团队来自各知名半导体企业，在半导体设备研发方面有着丰富经验。公司已组建从机械设计、控制系统、工艺开发整体解决方案的完整团队，具备突破 “卡脖子” 技术的研发能力。

• 核心产品：主要产品为 LPCVD（低压化学气相沉积）立式炉设备，在晶圆装载量、沉积薄膜均匀性、设备维护周期、运行稳定性方面表现突出，并可满足不同客户定制化需求。公司已开展多款立式炉设备的研发工作，产品覆盖逻辑、模拟、存储器、MEMS 等多种半导体芯片制造的需求。

• 企业发展：2024 年 1 月 21 日，公司完成新一轮融资，由沃衍资本等国内知名机构投资，用于半导体前道关键工艺设备的研发和量产。2025 年 1 月 13 日，公司制造中心在 G60 松江・中安科创园正式投产，设备最大产能 100 台 / 年，单台设备营收预计 1000 万，产品正式由研发阶段进入量产阶段。此外，公司还荣获 2023 “芯力量” 最具投资价值奖和投资机构推荐奖